Wafer preparation | Alfa Laval

Wafer preparation

En électronique, une plaquette est une fine tranche de matériau semi-conducteur, tel qu'un cristal de silicium, utilisée dans la fabrication de circuits intégrés et autres micro dispositifs. Lors de la découpe des lingots à l'aide de scies à fil, il est nécessaire de refroidir la coulis de découpe. Alfa Laval propose des solutions qui sont compactes, fiables et offrent une grande efficacité de transfert de chaleur.

Slurry recovery 640x360

La tranche sert de substrat pour les dispositifs microélectroniques construits dans et sur la tranche et subit de nombreuses étapes du processus de micro-fabrication, telles que le dopage ou l'implantation ionique, la gravure, le dépôt de divers matériaux et le modelage photo-lithographique. Enfin, les microcircuits individuels sont séparés (découpage) et emballés.

Les solutions appropriées de la gamme d'échangeurs de chaleur d'Alfa Laval sont les échangeurs de chaleur à plaques avec joints, les échangeurs de chaleur tout inox AlfaNova et les échangeurs de chaleur à plaques brasées. Tous sont compacts, fiables et offrent une grande efficacité de transfert de chaleur.